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【前馈控制器是光刻机工作台在高加减速工况下实现纳米级运动精度的关键……】
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星际直播：开局福袋抽到光刻机章节预读
李泽言冷着脸看了眼时俊青，随即转头望向大家，露出微笑和期待的表情。
可等了半晌，却没有一个人站起来回答这个问题。
时俊青摊开了手，“李泽言学长，这个问题好像并不难嘛，就是教材上理论性的东西，也没有公式变形之类的，竟然没人回答上来诶。那我想，一定不是学长你讲的不好，而是大家刚刚都在走神，对吧？”
李泽言的脸色渐渐难看起来，他强挤出一丝笑容勉强维持住自己的风度，试图反问住对方，“既然你觉得这个问题不难，那你能回答的上来吗？”
时俊青笑了笑，“这有何难？前馈控制技术的基本思路就是拟合被控对象的逆模型，其中最经典的方法就是基于模型的前馈。”
说着话，时俊青从座位走出来，先向梁师太的方向点了点头，又继续讲道：“当然了，光刻机工件台一般都具有结构复杂、模型不确定性大、柔性震动模态凸显等特征，难以获得精确的模型结构及参数，不可避免的会产生建模误差。
而前馈控制技术就避免了建模、求逆的过程，将系统视作黑箱，通过直接采集系统的输入、输出等控制过程数据，将控制器的参数整定问题转化为关于某一目标函数的优化问题……”
时俊青越讲越入神，那些书本教材上生硬冰凉的知识此刻就仿佛一个个活生生跳跃着的字符游荡在脑海里。
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吞噬星空开分身
作者：狙目无亲
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